Исследование методами сканирующей зондовой микроскопии и наноиндентирования пленок карбонитрида кремния, полученных плазмохимическим газофазным осаждением из гексаметилдисилазана

В.Р. Шаяпов, М.Н. Хомяков, Ю.М. Румянцев показать трудоустройства и электронную почту
Получена: 14 ноября 2013; Исправлена: 10 декабря 2013; Принята: 11 декабря 2013
Эта работа написана на английском языке
Цитирование: В.Р. Шаяпов, М.Н. Хомяков, Ю.М. Румянцев. Исследование методами сканирующей зондовой микроскопии и наноиндентирования пленок карбонитрида кремния, полученных плазмохимическим газофазным осаждением из гексаметилдисилазана. Письма о материалах. 2014. Т.4. №2. С.114-116
BibTex   https://doi.org/10.22226/2410-3535-2014-2-114-116

Аннотация

Методом наноиндентирования исследованы механические свойства (твердость, модуль Юнга, упругое восстановление) пленок карбонитрида кремния, полученных методом газофазного плазмохимического осаждения из гексаметилдисилазана. Сканирующая зондовая микроскопия применялась для изучения поверхности и определения параметров ее шероховатости. Обнаружено, что твердость и модуль Юнга растут с ростом температуры осаждения. Упругое восстановление близко к 100 % при низких температурах осаждения (ниже 250 °C) и уменьшается с дальнейшим ростом этой температуры. Результаты объясняются увеличением концентрации ковалентных связей и другими изменениями в химическом и фазовом составе пленок.

Ссылки (22)

1. Y. Peng, J. Zhou, B. Zhao, X. Tan, Zh. Zhang. Thin SolidFilms. 519, 2086 (2011).
2. I. Blaszczyk-Lezak, A.M. Wrobel, T. Aoki, Y. Nakanishi, I. Kucinska, A. Tracz. Thin Solid Films. 497, 24 (2006).
3. P. Hoffmann, N. Fainer, M. Kosinova et al. Compilationon Synthesis, Characterization and Properties of Siliconand Boron Carbonitride Films, in: M. Mukherjee (Ed.), Silicon Carbide - Materials, Processing and Applicationsin Electronic Devices. InTech. Rijeka. (2011) p. 487-546.
4. P. S. Hoffmann, N.I. Fainer, O. Baake, M.L. Kosinova, Y.M. Rumyantsev, V.A. Trunova, A. Klein, B. Pollakowski, B. Beckhoff, W. Ensinger. Thin Solid Films. 520, 5906(2012).
5. N.I. Fainer. Russ.J. Gen. Chem. 82, 43 (2012).
6. N.I. Fainer, M.L. Kosinova, Yu.M. Rumyantsev, E.A. Maksimovskii, F.A. Kuznetsov, V.G. Kesler, V.V. Kirienko, Han Bao-Shan, and Lu Cheng. Glass Phys.Chem. 31, 427 (2005).
7. V.R. Shayapov, Yu.M. Rumyantsev, A.A. Dzyuba, B.M. Ayupov, N.I. Fainer. Appl. Surf. Sci. 265, 385 (2013).
8. V.R. Shayapov, Yu.M. Rumyantsev, N.I. Fainer, B.M. Ayupov. Key Engineering materials. 508, 283 (2012).
9. N.I. Fainer, A.N. Golubenko, Yu.M. Rumyantsev, andE.A. Maximovskii. Glass Phys. Chem. 35, 274 (2009).
10. W.C. Oliver, G.M. Pharr. J. Mater. Res. 7, 1564 (1992).
11. H. He and M.F. Thorpe. Phys.Rev. Lett. 54, 2107 (1985).
12. M.F. Thorpe. Ann.N. Y. Acad. Sci. 484, 206 (1986).
13. B.R. Dvordjević and M.F. Thorpe. J. Phys.: Condens.Matter. 9, 1983 (1997).
14. A.M. Wrobel, M. Kryszewski. Progr. Colloid Polym. Sci.85, 91 (1991).
15. K.W. Gerstenberg. Colloid Polym. Sci. 268, 345 (1990).
16. A.M. Wrobel. Chem.Vap. Deposition. 16, 211 (2010).
17. K.W. Gerstenberg, W. Beyer. J. Appl. Phys. 62, 1782(1987).
18. N.I. Fainer, M.L. Kosinova, Yu.M. Rumyantsev, andF.A. Kuznetsov. J. Struct. Chem. 45 (Supplement), S65(2004).
19. D. Schneider, T. Schwarz. Surf. Coat. Technol. 91, 136(1997).
20. R.A. Andrievski, G.V. Kalinnikov, N. Hellgren, P. Sandstorm, D.V. Shtanskiy. Phys. Solid State. 42, 1671(2000).
21. A.R. Shugurov, A.V. Panin, K.V. Oskomov. Phys. SolidState. 50, 1050 (2008).
22. X. Chen, J.J. Vlassak. J. Mater. Res. 16, 2974 (2001).

Цитирования (1)

1.
V. R. Shayapov, M. N. Chagin, A. N. Kolodin, M. L. Kosinova. Glass Phys Chem. 45(6), 525 (2019). Crossref

Другие статьи на эту тему