Поверхность субмикрокристаллического никеля после распыления ионами аргона энергией 5 кэВ при различных углах падения ионов

Р.Х. Хисамов, Р.Р. Тимиряев, И.М. Сафаров, Р.Р. Мулюков показать трудоустройства и электронную почту
Получена: 27 марта 2020; Исправлена: 17 апреля 2020; Принята: 17 апреля 2020
Цитирование: Р.Х. Хисамов, Р.Р. Тимиряев, И.М. Сафаров, Р.Р. Мулюков. Поверхность субмикрокристаллического никеля после распыления ионами аргона энергией 5 кэВ при различных углах падения ионов. Письма о материалах. 2020. Т.10. №2. С.223-226
BibTex   https://doi.org/10.22226/2410-3535-2020-2-223-226

Аннотация

Поверхность СМК никеля после распыления ионами аргона энергией 5 кэВ под углом 60Исследована поверхность субмикрокристаллического никеля после распыления ионами аргона с энергией 5 кэВ при углах падения ионов 0, 30 и 60°. Субмикрокристаллическую структуру со средним размером зерен 350 нм в образцах получили кручением под давлением 5 ГПа при комнатной температуре. Сравнительные измерения проводили для крупнокристаллических образцов со средним размером зерен 16 мкм. В результате распыления при нормальном падении ионов на поверхности образцов появились ямки травления. На крупнокристаллических образцах диаметр ямок составлял величину около 2 – 5 мкм, на субмикрокристаллических образцах — до 1 мкм. После распыления под углом 30° на поверхности зерен крупнокристаллического образца появились террасы и волнистость поверхности. На склонах выступающих зерен образовались вертикальные бороздки, которые простираются от основания зерен до их вершины, где соединяются с ребрами террас при вершине. Некоторые зерна по форме представляют собой не до конца сформированные пирамиды, лежащие под углом к поверхности, на них отсутствуют террасы. На поверхности субмикрокристаллического образца, распыленного под углом 30°, появились пирамиды, равномерно распределенные по всей его поверхности и лежащие под наклоном к плоскости образца. После распыления под углом 60° на поверхности крупнокристаллического образца сформировались пирамиды с высотой в несколько микрометров, лежащие под наклоном к поверхности. На склонах пирамид также появились бороздки, простирающиеся до вершины и соединяющиеся c террасами при вершине. На субмикрокристаллическом образце при таком угле распыления сформировалось множество равномерно распределенных по поверхности конусов с радиусом закругления при вершине порядка сотен нанометров.

Ссылки (7)

1. G. Carter, M. J. Nobes, J. L. Whitton. Appl. Phys. A. 38, 77 (1985). Crossref
2. G. Carter. J. Phys. D: Appl. Phys. 34, R1 (2001). Crossref
3. A. A. Nazarov, R. R. Mulyukov. Nanostructred Materials. In: Handbook of NanoScience. Engineering and Technology. CRC Press, Boca Raton (2002). p. 22 - 1 - 22 - 41. Crossref
4. I. S. Valeev, A. K. Valeeva, R. R. Mulyukov, R. Kh. Khisamov. Lett. Mater. 6, 347 (2016). (in Russian) [А.Х. Валеева, И.Ш. Валеев, Р.Р. Мулюков, Р.Х. Хисамов. Письма о материалах. 6, 347 (2016).]. Crossref
5. K. S. Nazarov, R. K. Khisamov, Y. M. Yumaguzin, R. R. Mulyukov. Tech. Phys. Lett. 41, 522 (2015). Crossref
6. G. F. Korznikova, K. S. Nazarov, R. Kh. Khisamov, S. N. Sergeev, R. U. Shayachmetov, G. R. Khalikova, J. A. Baimova, A. M. Glezer, R. R. Mulyukov. Mater. Lett. 253, 412 (2019). Crossref
7. R. K. Khisamov, K. S. Nazarov, A. V. Irzhak, R. U. Shayakhmetov, I. I. Musabirov, R. R. Timirayev, Y. M. Yumaguzin, R. R. Mulyukov. Lett. Mater. 9, 212 (2019). Crossref

Другие статьи на эту тему

Финансирование