Структура, микрорельеф и оптические свойства пленок хрома, полученных методом сублимации в вакууме

В.А. Кочубей1, В.В. Атучин1, Л.Д. Покровский1*, И.С. Солдатенков1§, И.Б. Троицкая1, А.С. Кожухов1, В.Н. Кручинин1Δ
1ИФП СО РАН, пр. Лаврентьева, 13, Новосибирск, 630090, Россия
Аннотация
Исследованы микроструктурные и оптические характеристики пленок хрома, нанесенных на подложки из плавленого кварца и кремния методом термического испарения хрома в вакууме. Приповерхностный слой пленок является аморфным. По данным атомной силовой микроскопии, параметр rms на поверхности пленки хрома на плавленом кварце составляет 0,7 нм. Методом спектральной элипсометрии определены дисперсионные зависимости показателя преломления, n(λ), и коэффициента поглощения, k(λ), в диапазоне длин волн  λ= 250-1100 нм.
Получена: 19 июля 2013   Исправлена: 22 августа 2013   Принята: 16 сентября 2013
Просмотры: 69   Загрузки: 13
Ссылки
1.
C.W. Tan, J. Miao, Thin Solid Films. 517, 4921 (2009)
2.
Ali Foroughi-Abari, Can Xu, Kenneth C. Cadien, ThinSolid Films. 520, 1762 (2012)
3.
S.A. Chambers, Adv. Mat. 22, 219 (2010)
4.
S.A. Chambers, M.H. Engelhard, V. Shutthanandan, et.al.,Surf. Sci. Rep. 65, 317(2010)
5.
C. Capan, G.Y. Sun, M.E. Boden, and S.A. Chambers,Appl. Phys. Lett. 100, 052106 (2012)
6.
A.J. Hong, J. Kim, Y. Wang, et.al., J. Appl. Phys. 110,054504 (2011)
7.
T.I. Grigor’eva and T.Kh. Khasanov, Optics andSpectroscopy. 108(4), 591 (2010)
8.
V.A. Kochubey, V.V. Atuchin, A.S. Kozhukhov, V.N.Kruchinin, L.D. Pokrovsky, Fundamental’nye problemysovremennogo materialovedenia. 10(2), 194 (2013) (inRussian) [В.А. Кочубей, В.В. Атучин, А.С. Кожухов,В.Н. Кручинин, Л.Д. Покровский, Фунд. пробл. совр.материаловед. 10(2), 194 (2013)].
9.
T.A. Gavrilova, V.V. Atuchin, V.N. Kruchinin, D.V.Lychagin, Physics Procedia. 23, 61 (2012)
10.
V.V. Atuchin, T.I. Grigorieva and L.D. Pokrovsky,Modern Physics Letters B. 26(5), 1150029 (2012)
11.
V.V. Atuchin, T.A. Gavrilova, V.A. Kochubey, V.N.Kruchinin, L.D. Pokrovsky, Fundamental’nye problemysovremennogo materialovedenia. 8(4), 77 (2011) (inRussian) [В.В. Атучин, Т.А. Гаврилова, В.А. Кочубей,В.Н. Кручинин, Л.Д. Покровский, Фунд. пробл. совр.материаловед. 8(4), 77 (2011)].
12.
V.A. Kochubey, V.V. Atuchin, V.N. Kruchinin, L.D.Pokrovsky, Fundamental’nye problemy sovremennogomaterialovedenia. 7(4), 77 (2010) (in Russian)[В.А. Кочубей, В.В. Атучин, В.Н. Кручинин, Л.Д.Покровский, Фунд. пробл. совр. материаловед., 7(4),77 (2010)].
13.
V.V. Atuchin, V.A. Kochubey, L.D. Pokrovsky, T.Kh.Khasanov, Fundamental’nye problemy sovremennogomaterialovedenia. 3(1), 22 (2006) (in Russian) [В.В.Атучин, В.А. Кочубей, Л.Д. Покровский, Т.Х.Хасанов, Фунд. пробл. совр. материаловед. 3(1), 22(2006)].
14.
V.A. Kochubey, L.D. Pokrovsky, T.I. Grigorieva,Fundamental’nye problemy sovremennogomaterialovedenia. 2(3), 103 (2005) (in Russian) [В.А.Кочубей, Л.Д. Покровский, Т.И. Григорьева, Фунд.пробл. совр. материаловед. 2(3), 193 (2005)].
15.
C.V. Ramana, R.S. Vemuri, V.V. Kaichev, V.A. Kochubey,A.A. Saraev, and V.V. Atuchin, Appl. Mater. Interfaces. 3,4370 (2011).
16.
V.V. Atuchin, B.M. Ayupov, V.A. Kochubey, L.D.Pokrovsky, C.V. Ramana, Yu.M. Rumiantsev, Opt. Mater.30, 1145 (2008)
17.
C.V. Ramana, V.V. Atuchin, V.A. Kochubey, L.D.Pokrovsky, V. Shutthanandan, U. Becker, R.C. Ewing,Appl. Surf. Sci. 253, 5368 (2007)
18.
V.A. Kochubey, V.V. Atuchin, T.A. Gavrilova, L.D.Pokrovsky, Kondensirovannie Sredy & MezhfaznieGranitsy, 11(4), 318 (2009) [В.А. Кочубей, В.В. Атучин,Т.А. Гаврилова, Л.Д. Покровский, Конденсированныесреды и межфазные границы, 11(4), 318 (2009)].
19.
S.V. Rykhlitski, E.V. Spesivtsev, V.A. Shvets, V.Yu.Prokopiev, Instrum. Exper. Techniques. 2, 160 (2007)(in Russian) [С.В. Рыхлицкий, Е.В. Спесивцев, В,А,Швец, В.Ю. Прокопьев, ПТЭ. 2, 160 (2007)].
20.
V.V. Atuchin, T. Khasanov, V.A. Kochubey, L.D.Pokrovsky, T.A. Gavrilova, Int. J. Modern Phys. 23(23),4817 (2009)
21.
V.V. Atuchin, A.V. Kalinkin, V.A. Kochubey, V.N.Kruchinin, R.S. Vemuri and C.V. Ramana, J. Vac. Sci.Tecnol. A29(2), 02104 (2011)
22.
Ioffe Physical Technical Institute, RAS, Russia, n, kdatabase of NSM, http://www.ioffe.rssi.ru/SVA/NSM/nk/
Цитирования
1.
Кочубей В.А., Атучин В.В., Покровский Л.Д., Солдатенков И.С., Троицкая И.Б., Кожухов А.С., Кручинин В.Н., Фундаментальные проблемы современного материаловедения 11(2), 153-158 (2014).
2.
Кочубей В.А., Атучин В.В., Гаврилова Т.А., Кручинин В.Н., Покровский Л.Д., Конденсированные среды и межфазные границы 16(4), 449-455 (2014).
3.
Кочубей В.А., Атучин В.В., Покровский Л.Д., Солдатенков И.С., Троицкая И.Б., Кожухов А.С., Кручинин В.Н., Фундаментальные проблемы современного материаловедения 12(3), 338-345 (2015).
4.
Кочубей В.А., Атучин В.В., Андреева О.П., Покровский Л.Д., Солдатенков И.С., Кожухов А.С., Кручинин В.Н., Фундаментальные проблемы современного материаловедения 13(3), 303-308 (2016).
5.
Ащеулов А.А., Галочкин А.В., Романюк И.С., Дремлюженко С.Г., Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 3-7 (2016).